描述：雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
這一臺適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8“晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測試。
大量樣品測試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

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