薄膜介電常數(shù)及損耗測試儀的三電極結(jié)構(gòu)設(shè)計

薄膜介電常數(shù)及損耗測試儀是一款針對薄膜測試的專用設(shè)備，測試薄膜介電常數(shù)及損耗需要特制的夾具，通過軟件可以采集到介損（tgd）及介電常數(shù)（ε）器件的介電性能測量與分析，可測試以下參數(shù)隨頻率(f)、電平(V)、偏壓(Vi)的變化規(guī)律：電容(C)、電感(L)、電阻(R)、電抗(X)、阻抗(Z)、相位角(Ø)、電導(dǎo)(B)、導(dǎo)納(Y)、損耗(D)、品質(zhì)因數(shù)(Q)等參數(shù)，同時計算獲得反應(yīng)材料介電性能的復(fù)介電常數(shù)和損耗參數(shù)。

其采用了西林電橋的經(jīng)典線路。主要可以測量電容器，互感器，變壓器，各種電工油及各種固體絕緣材料在工頻高壓下的介質(zhì)損耗( tgd)和電容量( Cx)以，其測量線路采用“正接法"即測量對地絕緣的試品。電橋由橋體、指另儀、跟蹤器組成，本電橋特別適應(yīng)測量各類絕緣油和絕緣材料的介損（tgd）及介電常數(shù)（ε）。

三電極結(jié)構(gòu)設(shè)計：

微調(diào)千分尺：微調(diào)千分尺具備0.001mm的調(diào)節(jié)精度，可精細化調(diào)節(jié)上下電極之間的距離。

平行板測試電極：下電極固定在底部支撐座，上電極可由微調(diào)千分尺調(diào)節(jié)行程距離。上電極帶有保護電極。

上電極片：上電極標配有2mm球頭電極、φ26.8mm圓片電極和φ38mm圓片電極。可根據(jù)樣品大小隨時更換。

鎖緊裝置：當樣品放入上下電極之間后，可調(diào)節(jié)此鎖緊裝置，固定上下電極的調(diào)節(jié)行程。防止輕微移動引起的刻度偏差。